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DLC

DLCとは「Diamond-like Carbon」の略称であり、ダイヤモンドとグラファイト構造の混成電子軌道が混在したアモルファス構造の皮膜です。

当社はPSII（プラズマソースイオン注入）法というプラズマを用いたDLC成膜を行っており、廃液や廃棄物が出ない環境に優しい表面処理技術です。

DLC膜には、硬度が15~22GPaと非常に高い、凝着性が低い、摩擦係数が低いなどの特徴があり、機械部品の長寿命化、メンテナンス負荷軽減などの効果があります。

他にも化学的に不活性であったりと優れた点が多々あり、半導体分野や自動車産業など様々な分野で利用されています。

弊社DLCの強み

  • 大型チャンバーとPSII法の組み合わせによりφ1500mm×1600mmまでの大型製品の処理が可能であり、複数の製品を同時に処理する事も可能です。
  • 三次元立体物への処理も可能です。
  • イオン注入を併用した成膜方法で高い密着性が得られ、密着性を得るための金属のアンダーコートを使用しません。

PSII法の特徴

効果

  • 低摩擦係数
  • 高硬度
  • 非攻撃性
  • 化学的安定性付与

用途

  • 自動車部品
  • 摺動部品
  • 金型
  • プラスチック成型部品
  • 半導体用治具etc…
  • ラマン分光による評価

DLC処理製品

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